采购项目名称

中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目

品目

货物/设备/仪器仪表/分析仪器/多种原理分析仪

采购单位

中国科学院半导体研究所

行政区域

北京市

公告时间

2026年03月24日17:53

评审专家名单

总中标金额

￥205.000000万元（人民币）

联系人及联系方式：

项目联系人

窦志超、曹山

项目联系电话

010-68290529

采购单位

中国科学院半导体研究所

采购单位地址

北京市海淀区清华东路甲35号

采购单位联系方式

010-82305357

代理机构名称

东方国际招标有限责任公司

代理机构地址

北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层

代理机构联系方式

窦志超、曹山010-68290529

附件：

附件1

招标文件1580-等离子体增强化学气相沉积系统0226发布稿.pdf

一、项目编号：OITC-G260571580（招标文件编号：OITC-G260571580）

二、项目名称：中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：北京北方华创微电子装备有限公司

供应商地址：北京经济技术开发区文昌大道8号

中标（成交）金额：205.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号

供应商名称

货物名称

货物品牌

货物型号

货物数量

货物单价(元)

1

北京北方华创微电子装备有限公司

等离子体增强化学气相沉积系统

NAURA

Taurusi200PES

1套

￥2,050,000.00

五、评审专家（单一采购人员）名单：

闫树刚（评审组长）、赵颖燕、姚志明、吴发超、裴艳荣

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：[2002]1980号文件

本项目代理费总金额：2.655000万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法，中标供应商的评审总得分93.04分。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：中国科学院半导体研究所

地址：北京市海淀区清华东路甲35号

联系方式：010-82305357

2.采购代理机构信息

名称：东方国际招标有限责任公司

地址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层

联系方式：窦志超、曹山010-68290529

3.项目联系方式

项目联系人：窦志超、曹山

电话：010-68290529